| 項目 / 型式 | SURFCOM 1800G | ||||||||||||||||||||||
| -11 | -12 | -13 | -14 | -21 | -22 | -23 | -24 | ||||||||||||||||
| 量測範圍 | Z軸（縱方向） | 粗度：800um,l輪廓：50mm | |||||||||||||||||||||
| X軸（橫方向） | 100mm | 200mm | |||||||||||||||||||||
| 粗度檢出器 | 檢出器測量解析度 | 0.01μm/800μm～0.0004μm/25μm（0.0001μm/6.4μm測量範圍） | |||||||||||||||||||||
| 輪廓用檢出器 | Z軸指示 | ±0.25%（總刻度） | |||||||||||||||||||||
| 測量解析度 | 0.1μm/5mm測量範圍,0.4μm/20mm測量範圍,1μm/50mm測量範圍 | ||||||||||||||||||||||
| 驅動部粗度 | X軸測量解析度 | 0.04μm 或者 32,000點（數(shù)據(jù)取入數(shù)3000，000點） | |||||||||||||||||||||
| 驅動部輪廓 | X軸指示 | ±（1.0+2L/100）μm | |||||||||||||||||||||
| 測量解析度 | 0.1μm | ||||||||||||||||||||||
| 真直度 | 粗度：(0.05+1.5L/1000)μm 輪廓：1μm/100mm、2μm/200mm | ||||||||||||||||||||||
| 感應方式 | X軸（橫方向） | Moire光柵尺 | 線型尺 | ||||||||||||||||||||
| Z軸 | 粗度 | 差動變壓器 | |||||||||||||||||||||
| 輪廓 | 差動變壓器 | ||||||||||||||||||||||
| 速度 | 立柱上下速度(Z軸) | - | 10mm/s(3mm/s)*2 | - | 10mm/s(3mm/s)*2 | ||||||||||||||||||
| 測量速度(X軸) | 測量速度：0.03、0.06、0.15、0.3、0.6、1.5、3、6mm/s(8速) | ||||||||||||||||||||||
| 檢出器 | 粗度 | 測針、測量力 | 交換式、0.75mN | ||||||||||||||||||||
| 測針半徑、材質 | 2μmR,（60°圓錐金剛石）1支標準付屬品 | ||||||||||||||||||||||
| 輪廓 | 測針、測量力 | 交換式、10～30mN | |||||||||||||||||||||
| 測針半徑、材質 | 25μmR,（24°圓錐超硬.）2支標準付屬品 | ||||||||||||||||||||||
| 測量方向、方式 | 拉、壓方向、上下方向 | ||||||||||||||||||||||
| 移動范圍 | 驅動部行程 | 100mm | 200mm | ||||||||||||||||||||
| 立柱上下移動行程 | 250mm | 450mm | 250mm | 450mm | |||||||||||||||||||
| 平臺 | 尺寸 | 600×317mm | 1000×450mm | 600×317mm | 1000×450mm | ||||||||||||||||||
| 容許載重量 | 41kg | 35kg | 26kg | 41kg | 35kg | 29kg | 20kg | 35kg | |||||||||||||||
| 其它 | 設置尺寸 | 橫 | 2000mm | 2300mm | 2000mm | 2300mm | |||||||||||||||||
| 深 | 1000mm | 1000mm | |||||||||||||||||||||
| 高 | 1700mm | 1900mm | 1700mm | 1900mm | |||||||||||||||||||
| 質量 | 120kg | 125kg | 135kg | 240kg | 125kg | 130kg | 140kg | 245kg | |||||||||||||||
| 電源、消耗電力 | 單相AC100V±10％(要接地)﹑50/60Hz / 710VA | ||||||||||||||||||||||
