采用半徑測(cè)量法,工件旋轉(zhuǎn)式。旋轉(zhuǎn)軸系采用高精度氣浮主軸,氣浮導(dǎo)軌立柱作為測(cè)量基準(zhǔn);電器部分由工控計(jì)算機(jī)及進(jìn)口精密圓光柵傳感器、精密電感傳感器組成;運(yùn)用精密圓光柵傳感器、精密電感傳感器計(jì)量角度、徑向位移量,保證測(cè)量工件的角位移、徑向值的精確度;測(cè)量軟件采用基于中文版Windows操作系統(tǒng)平臺(tái)的CA系統(tǒng)測(cè)量軟件,完成數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)處理及打印輸出等工作。
● 精度:采用高精度的回轉(zhuǎn)空氣靜承結(jié)構(gòu),精度高達(dá)±0.0125um;
● 數(shù)據(jù)采集運(yùn)用進(jìn)口精密圓光柵,每周采集14400點(diǎn), 準(zhǔn)確高、穩(wěn)定性好;
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào) 主要項(xiàng)目 | D200 | D200A | D300 | D300A | |
測(cè)量范圍 | 直徑 | Ф200mm | Ф300mm | ||
最小內(nèi)徑 | ф5mm | ф5mm | |||
高度 | 280mm | 410mm | |||
主軸精度 | 徑向誤差μm | ±(0.04+5H/10000) | ±(0.025+5H/10000) | ±(0.025+5H/10000) | ±(0.0125+3H/10000) |
軸向誤差μm | ±(0.04+6X/10000) | ±(0.025+6X/10000) | ±(0.02+6X/10000) | ±(0.0125+4X/10000) | |
工作臺(tái) | 臺(tái)面直徑 | φ150mm | φ180mm | ||
回轉(zhuǎn)直徑 | Φ200mm | Φ300mm | |||
承載重量 | 15Kg | 25Kg | |||
調(diào)整范圍 | 調(diào)偏心±2mm ; 調(diào)水平±1° | ||||
旋轉(zhuǎn)速度 | 0-12轉(zhuǎn)/分 | ||||
立柱 | 直線度(窄范圍) | 0.8μm /100mm | 0.5μm /100mm | 0.5μm /100mm | 0.35μm /100mm |
直線度(全范圍) | 1.0μm /200mm | 0.8μm /200mm | 0.8μm /300mm | 0.6μm /300mm | |
水平臂 | 移動(dòng)精度 | 2μm/150mm | 1.5μm/150mm | 2μm/150mm | 1.5μm/150mm |
水平移動(dòng)距離 | 140mm | 160mm | |||
傳感器 | 量程 | 500μm (半徑差) | |||
分辨率 | 0.005μm | ||||
測(cè)針形狀 | φ2mm寶石球測(cè)頭(有更多直徑可選擇) | ||||
測(cè)力 | 1-12g | ||||
數(shù)據(jù)采集 | 進(jìn)口光柵3600點(diǎn)/周 | 進(jìn)口光柵7200點(diǎn)/周 | |||
放大倍率 | 任意至20萬倍 自動(dòng) | ||||
電 源 | AC 220V±10% 50Hz | ||||
氣源壓力 | 0.45~0.80Mpa (氣源質(zhì)量要求:常規(guī)) | ||||
氣源流量 | ≥0.2 m3/min | ||||
環(huán)境要求 | 溫度:10~30℃;相對(duì)濕度:<85% |
產(chǎn)品型號(hào) 主要項(xiàng)目 | D400 | D400A | D500 | D500A | ||
測(cè)量范圍 | 直徑 | Ф400mm | Ф500mm | |||
最小內(nèi)徑 | ф5mm | ф5mm | ||||
高度 | 550mm | 650mm | ||||
主軸精度 | 徑向誤差μm | ±(0.025+5H/10000) | ±(0.0125+3H/10000) | ±(0.035+5H/10000) | ±(0.0125+3H/10000) | |
軸向誤差μm | ±(0.025+6X/10000) | ±(0.0125+4X/10000) | ±(0.03+6X/10000) | ±(0.02+4X/10000) | ||
工作臺(tái) | 臺(tái)面直徑 | φ220mm | Φ260mm | |||
回轉(zhuǎn)直徑 | Φ400mm | Φ500mm | ||||
承載重量 | 50Kg | 100Kg | ||||
調(diào)整范圍 | 調(diào)偏心±2mm ; 調(diào)水平±1° | |||||
旋轉(zhuǎn)速度 | 0-12轉(zhuǎn)/分 | |||||
立柱 | 直線度(窄范圍) | 0.5μm /100mm | 0.35μm /100mm | 0.5μm /100mm | 0.35μm /100mm | |
直線度(全范圍) | 0.8μm /400mm | 0.6μm /400mm | 0.8μm /400mm | 0.6μm /400mm | ||
水平臂 | 移動(dòng)精度 | 2μm/150mm | 1.5μm/150mm | 2μm/150mm | 1.5μm/150mm | |
水平移動(dòng)距離 | 180mm | 200mm | ||||
傳感器 | 量程 | 500μm (半徑差) | ||||
分辨率 | 0.005μm | |||||
測(cè)針形狀 | φ2mm寶石球測(cè)頭(有更多直徑可選擇) | |||||
測(cè)力 | 1-12g | |||||
數(shù)據(jù)采集 | 進(jìn)口光柵14400點(diǎn)/周 | |||||
放大倍率 | 任意至20萬倍 自動(dòng) | |||||
電 源 | AC 220V±10% 50Hz | |||||
氣源壓力 | 0.45~0.80Mpa (氣源質(zhì)量要求:常規(guī)) | |||||
氣源流量 | ≥0.2 m3/min | |||||
環(huán)境要求 | 溫度:10~30℃;相對(duì)濕度:<85% |