特點

1.   質(zhì)量流量計技術(shù)特點：新一代微機電（MEMS）技術(shù)，自適應(yīng)信號處理技術(shù)，數(shù)值仿真技術(shù)設(shè)計。具有精度高、穩(wěn)定性好、量程比寬、抗干擾、壓損小。
2.   主要功能：流量數(shù)據(jù)采集/處理、記錄/顯示，滿足就地、遠程監(jiān)測需求。 安裝方便，維護簡單。
3.   適用范圍：氧氣O2 / 氮氣N2 / 氬氣Ar / 天然氣LNG 。通徑DN3-DN20，壓力0-2.5Mpa，溫度 -20-80°C
4.   應(yīng)用場合：醫(yī)療、制藥、半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝過程如擴散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入、以及真空鍍膜、光纖熔煉等；實驗室微反應(yīng)裝置, 混氣配氣系統(tǒng), 毛細管測量氣相色譜儀, 光纖制造工藝；石油化工、冶金、焊接等過程控制。

MEMS0600系列微機電質(zhì)量流量計 (MEMS Mass Flow Meter) 由傳感器、本體、信號處理模塊組成。

傳感器是用CMOS半導(dǎo)體工藝制成微機電系統(tǒng) (MEMS)。傳感器根據(jù)熱擴散原理設(shè)計, 芯片設(shè)加熱器, 加熱器的上下游分別配置熱電堆, 熱電堆附設(shè)基座測溫體。加熱器和熱電堆的底部設(shè)有空腔, 可高效檢測加熱器的熱量以及附近溫度場的變化。加熱元件導(dǎo)入恒定電流后, 其附近區(qū)域形成溫度場。介質(zhì)無流動時，上下游熱電堆的溫差為零，介質(zhì)流動時，上下游溫差發(fā)生變化，且溫差數(shù)值與質(zhì)量流量大小呈正相關(guān)關(guān)系，通過測量溫差可反算出流體質(zhì)量流量。傳感器采用熱擴散原理直接測量質(zhì)量流量, 所以基本無需進行壓力、溫度補償，而且熱擴散原理應(yīng)用縮小至毫米微米尺度, 因此該傳感器具有精度高、量程寬、靈敏度高的特點。

流量計本體由主流道、測量流道、導(dǎo)向結(jié)構(gòu)、過濾結(jié)構(gòu)組成。經(jīng)過理論計算、大量的數(shù)值仿真、實驗室實驗和現(xiàn)場實氣測試驗證完成設(shè)計。流道設(shè)計滿足經(jīng)濟、高效、穩(wěn)定、準(zhǔn)確的測量目標(biāo)。流道壓損小、氣流穩(wěn)定、線性范圍寬。

信號處理模塊采用性能優(yōu)良、可靠性高的DSP進行設(shè)計。集成數(shù)字化自適應(yīng)信號處理技術(shù), 可有效抑制隨機誤差。模塊具有響應(yīng)快、精度高、穩(wěn)定性好的特點。提供便利的計量就地顯示，根據(jù)需要可提供RS485，4-20mA，NBIOT等數(shù)字和模擬信號輸出與數(shù)據(jù)遠傳。

基本功能：

瞬時流量顯示 (可靈活設(shè)置流量單位), 累積總量顯示(可靈活設(shè)置流量單位), 溫度, 流量計狀態(tài)監(jiān)測, 傳感器狀態(tài)監(jiān)測,用戶根據(jù)使用習(xí)慣可靈活設(shè)置顯示界面, 靈活選擇介質(zhì) (空氣、氧氣、氮氣、氬氣等氣體)。

高級功能：

可選配NB-IOT物聯(lián)模塊實現(xiàn)數(shù)據(jù)遠傳功能。實時記錄瞬時流量、總量、支持U盤存取。記錄瞬時流量的趨勢曲線、統(tǒng)計量。

注：

流量讀取基本功能可在質(zhì)量流量計實現(xiàn)，高級功能需選配外接觸摸屏監(jiān)測器實現(xiàn)。