產(chǎn)品描述
XD Laser：5D/6D激光干涉儀是API產(chǎn)品，一次安裝能夠同時(shí)測(cè)量線性軸的六個(gè)誤差，包括1個(gè)位置度誤差、2個(gè)直線度誤差、3個(gè)角度誤差。在通常情況下需要數(shù)天時(shí)間進(jìn)行的測(cè)試，使用API激光干涉儀只需幾個(gè)小時(shí)即可完成，實(shí)際應(yīng)用結(jié)果表明，節(jié)省時(shí)間可達(dá)80%。該儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上。6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成，從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后，被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學(xué)相位探測(cè)器識(shí)別后進(jìn)行電子記數(shù)，記錄精確長(zhǎng)度位移。第二束光用作直線度測(cè)量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對(duì)位移由裝在傳感器內(nèi)的橫向疚光電二級(jí)管測(cè)得。第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測(cè)角儀的參考光源，用來測(cè)量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。為了保證激光光束的穩(wěn)定性，測(cè)量?jī)x在結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)以及激光器的選擇方面都做了仔細(xì)周密的考慮，以使測(cè)量?jī)x的橫向和角度漂移量都降低到*小，從而保證測(cè)量?jī)x的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。測(cè)量?jī)x配有自動(dòng)氣壓、環(huán)境溫度補(bǔ)償器，自動(dòng)校正環(huán)境變化對(duì)激光波長(zhǎng)及長(zhǎng)度測(cè)量的影響，測(cè)量?jī)x還配有專門設(shè)計(jì)的多重?cái)?shù)字濾波器，使由空氣波動(dòng)及溫度梯度引起的測(cè)量誤差降到*小。
| XD激光干涉儀技術(shù)綜述: |  | | |
| 1D激光主要可以測(cè)量定位誤差 3D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差（雙向） 5D/6D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差（雙向）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角 | | ||
| 主要特點(diǎn): | | ||
| ◇同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角 ◇設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器 ◇可選的無線遙控傳感器*長(zhǎng)的控制距離可到25米 ◇可測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性。 ◇設(shè)計(jì)緊湊、體積小，測(cè)量機(jī)床時(shí)不需三角架 ◇集成干涉鏡與激光器于一體，簡(jiǎn)化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時(shí)間 | | ||
攜帶方便、操作簡(jiǎn)單
全套系統(tǒng)重量?jī)H為15千克.可以裝入一個(gè)小型工具箱內(nèi)。由于采用了緊湊型設(shè)計(jì).XD Laser體積小，測(cè)量機(jī)床時(shí)無需使用三腳架，使測(cè)量基準(zhǔn)與機(jī)床的加工基準(zhǔn)保持一致，簡(jiǎn)化了測(cè)量程序(免拆機(jī)床護(hù)罩)。集成干涉鏡與激光器于一體，簡(jiǎn)化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時(shí)間，提高了機(jī)床使用效率。  | XD Laser™激光干涉儀技術(shù)參數(shù)： 5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型： 1. 線性：0.5ppm . 2. 測(cè)量范圍：40米(1D可選80米) 3. 線性分辨力：0.001um. 4. 偏擺角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值 5. *大范圍：800角秒 6. 滾動(dòng)角精度：1.0角秒 7. 直線度精度：(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值 8. 直線度*大范圍：500um 9. 垂直度精度：1角秒 10. 溫度精度：0.2攝氏度 11.濕度精度：5% 12.壓力精度：1mmHg |
| 技術(shù)規(guī)格 | ||||||||
| 型號(hào) |
| XD-1D一維型 | XD-3D三維型 | XD-5D五維型 |
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| 功能 |
| 標(biāo)準(zhǔn)型 | 精密性型 |
| 標(biāo)準(zhǔn)型 | 精密型 | 標(biāo)準(zhǔn)型 | 精密型 |
| 線性測(cè)量范圍 | m | 45 | 40 | 45 | 45 | 40 | 45 | 40 |
| 線性精度 | ppm | 0.5 | 0.2 | 0.5 | 0.5 | 0.2 | 0.5 | 0.2 |
| 直線度測(cè)量精度 | un | N/A | N/A | (2.0+0.4/m) 或2%顯示值 | (1.0+0.2/m) 或1%顯示值 | (0.5+0.1/m) 或1%顯示值 |
(1.0+0.2/m) 或1%顯示值
| (0.5+0.1/m) 或1%顯示值
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| 偏擺角和俯仰角精度 | 角秒 | N/A | N/A | N/A | (1.0+0.1/m) 或1%顯示值 | (0.5+0.05/m) 或1%顯示值 | (1.0+0.1/m) 或1%顯示值 | (0.5+0.05/m) 或1%顯示值 |
| 滾動(dòng)角測(cè)量精度 | 角秒 | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A | 1.0或1%顯示值 | 0.5或1%顯示值 |
| 垂直度測(cè)量精度 | 角秒 | N/A | N/A | (1.0+0.4/m) | (1.0+0.2/m) | (1.0+0.2/m) | (1.0+0.2/m) | (1.0+0.2/m) |
| 材料溫度傳感器精度 | ℃ | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| 空氣溫度傳感器精度 | ℃ | 0.2 | 0.1 | 0.2 | 0.2 | 0.1 | 0.2 | 0.1 |
| 大氣壓力傳感器精度 | mm hg | 1.0 | 0.3 | 1.0 | 1.0 | 0.3 | 1.0 | 0.3 |
