KosakaET4000探針式輪廓儀
ET4000具有高精確性、穩(wěn)定性和重復(fù)性，可測量FPD、晶片、磁盤，和與納米材料相關(guān)物件的表面特性、臺階高度和粗糙度等。堅(jiān)固的花崗巖材料鑄成的機(jī)身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復(fù)精度，并降低了地板噪音對測量的干擾。ET4000為滿足用戶不同應(yīng)用方向的需要提供了多種可選配置，通過選配三維成像附件套裝還可以極大地?cái)U(kuò)充儀器的功能。
1.具有的臺階高度重復(fù)性5Å(1σ)和線性度（垂直線性度：200nm以上為±0.25%；200nm以下為0.5nm）；
2.高分辨率，縱軸分辨率為0.1nm，橫軸為0.01μm，可精確測量納米級至幾百微米級臺階高度；
3.超高直線度：0.005μm/5mm，可測定微細(xì)表面形狀、段差、平面度、粗度、應(yīng)力分析等；
4.低測定力：采用直動(dòng)力LVDT檢出器，觸針力在0.5μN～500μN范圍可以任意調(diào)節(jié)，可測定軟質(zhì)材料；
5.即時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)：配置標(biāo)準(zhǔn)CCD，可即時(shí)監(jiān)控量測位置；還可選購TopViewCCD，進(jìn)行高精度定位量測；
6.可擴(kuò)充成三次元設(shè)備和追加三次元解析軟件，觀察樣品全貌和測定臺階移動(dòng)量；
7.采用天然金剛石(R2μm)作為探頭，經(jīng)久耐用；
