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KosakaET4000探針式輪廓儀

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  • 型號
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  • 所在地上海市
  • 更新時(shí)間2023-07-10
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  • 產(chǎn)品數(shù)量5
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上海昭沅儀器設(shè)備有限公司專業(yè)致力于銷售各種科研儀器,代理公司的表面測試及表面處理等產(chǎn)品,公司擁有一批經(jīng)驗(yàn)豐富的銷售人員和技術(shù)人員組成,著重為各高校,研究所等單位提供集產(chǎn)品、應(yīng)用和服務(wù)于一體的整體解決方案!

      經(jīng)過十年的發(fā)展,公司代理美國Plasma Etch等離子表面處理系統(tǒng)、美國Nanomechanics納米壓痕測試系統(tǒng)、德國Kleindiek納米機(jī)械操縱手臂、美國Biosensing等離子表面共振分析儀、日本Kosaka臺階儀/輪廓儀等進(jìn)口品牌產(chǎn)品。
   "From the beginning, our developments have been driven by the needs of our customers." 

- Richard DeLarge, Founder of Plasma Etch, Inc.

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KosakaET4000探針式輪廓儀 ET4000具有高精確性、穩(wěn)定性和重復(fù)性,可測量FPD、晶片、磁盤,和與納米材料相關(guān)物件的表面特性、臺階高度和粗糙度等。
KosakaET4000探針式輪廓儀 產(chǎn)品詳情

KosakaET4000探針式輪廓儀


ET4000具有高精確性、穩(wěn)定性和重復(fù)性,可測量FPD、晶片、磁盤,和與納米材料相關(guān)物件的表面特性、臺階高度和粗糙度等。堅(jiān)固的花崗巖材料鑄成的機(jī)身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復(fù)精度,并降低了地板噪音對測量的干擾。ET4000為滿足用戶不同應(yīng)用方向的需要提供了多種可選配置,通過選配三維成像附件套裝還可以極大地?cái)U(kuò)充儀器的功能。


1.具有的臺階高度重復(fù)性5Å(1σ)和線性度(垂直線性度:200nm以上為±0.25%;200nm以下為0.5nm);
2.高分辨率,縱軸分辨率為0.1nm,橫軸為0.01μm,可精確測量納米級至幾百微米級臺階高度;
3.超高直線度:0.005μm/5mm,可測定微細(xì)表面形狀、段差、平面度、粗度、應(yīng)力分析等;
4.低測定力:采用直動(dòng)力LVDT檢出器,觸針力在0.5μN~500μN范圍可以任意調(diào)節(jié),可測定軟質(zhì)材料;





5.即時(shí)監(jiān)控系統(tǒng):配置標(biāo)準(zhǔn)CCD,可即時(shí)監(jiān)控量測位置;還可選購TopViewCCD,進(jìn)行高精度定位量測;



6.可擴(kuò)充成三次元設(shè)備和追加三次元解析軟件,觀察樣品全貌和測定臺階移動(dòng)量;


7.采用天然金剛石(R2μm)作為探頭,經(jīng)久耐用;



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