ST-1系列壓力敏感芯體是為我國九十年代的航天軍事應(yīng)用而開發(fā)的產(chǎn)品。濺射薄膜壓力芯體其利用離子束濺射薄膜技術(shù)結(jié)合*的微電子工藝技術(shù)制造而成的不銹鋼彈性膜片。離子束濺射在電阻合金材料上，在膜片上制作了組成惠斯登電橋的合金薄膜應(yīng)變電阻，膜片變形使電阻的幾何尺寸和阻值發(fā)生改變,電橋輸出相應(yīng)電信號。薄膜應(yīng)變電阻與彈性體“融”為一體,組成全金屬型敏感元件,無任何粘貼劑和緊固件, 可長期在-200℃～+200℃工作溫度下穩(wěn)定工作。
濺射薄膜壓力芯體具有準確度高，工作溫度范圍寬，溫漂小，高穩(wěn)定，高可靠，抗振動，抗沖擊，抗輻射的工作特性。濺射薄膜壓力芯體因使用微束脈沖亞弧焊和激光焊，具有防水、防潮功能，在各種惡劣的環(huán)境下能長期穩(wěn)定的工作。
濺射薄膜壓力芯體廣泛應(yīng)用于航空、航天、交通、水利、電力、工程機械、汽車制造、船舶制造、石油化工、冶金制造、醫(yī)療設(shè)備、食品加工等多種自控和測量行業(yè)。
主要技術(shù)參數(shù)
被測介質(zhì) | 氣體,液體及蒸氣 |
壓力類型 | 表壓、絕壓、差壓可選 |
量程 | 0.5～300MPa間任意可選 |
供電電源 | 3～15V DC（建議5V DC或10V DC） |
輸出靈敏度 | 1.5～2.0mV/V、3.5～5.5 mV/V可選 |
綜合精度 | ±0.1%FS、±0.2%FS、±0.5%FS |
非線性 | 0.02～0.05%FS之間 |
遲滯 | 0.02～0.05%FS之間 |
重復(fù)性 | 0.02～0.05%FS之間 |
零點溫漂 | ±0.01%FS/℃ |
靈敏度溫漂 | ±0.015%FS/℃ |
輸出阻抗 | 2.5～3.8KΩ、3～7KΩ |
絕緣電阻 | ≥200 MΩ/100VDC |
工作溫度 | -196℃～+85℃…125℃…150℃…175℃…200℃可選 |
過載能力 | 150%FS |
頻率響應(yīng) | 1200 Hz |
電氣連接 | 焊點（鎳）（用戶自己焊接 或委托我們焊接好） |
接液材料 | 膜片：17-4PH |
相對濕度 | 0～95% RH |
量程規(guī)格：
0.5MPa、0.7MPa、1MPa、2MPa、3.5MPa、5MPa、7MPa、10MPa、16MPa、25MPa、40MPa、70MPa、100MPa、160MPa、200MPa、250MPa 可選擇
尺寸規(guī)格：
