晶圓金剛石劃片機(jī)高質(zhì)量的變焦顯微鏡可以在樣品表面的概覽和細(xì)節(jié)表達(dá)之間無級(jí)變化。使用x/y定位臺(tái)的精細(xì)調(diào)整,以高精度定位試樣。劃線金剛石的偏移點(diǎn)可以調(diào)整,目鏡標(biāo)記了起點(diǎn),也可增配視頻系統(tǒng),在計(jì)算機(jī)顯示器上觀察晶片。
晶圓金剛石劃片機(jī)技術(shù)規(guī)格
腳踏板控制刻劃金剛石
可調(diào)刻劃力10g~120g (其它可定制)
刻劃溝槽寬度:5um~10um (由刻劃力和材料決定)
可調(diào)降低速度
可調(diào)刻劃金剛石高度和角度
真空抽濾刻劃微小顆粒
高精度變焦顯微鏡可調(diào)倍數(shù)8X~40X
高精度目鏡精確調(diào)整刻劃線
倍數(shù)10X時(shí)分辨率可達(dá)10um
晶圓樣品吸盤可達(dá)直徑200mm
晶圓樣品吸盤微分計(jì)分辨率10um=0.006度
晶圓樣品吸盤可90度旋轉(zhuǎn)
XY手動(dòng)位移臺(tái)行程200x200mm方便定位