TL1200-Mini-C 單溫區(qū)CVD系統(tǒng)
CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng) ，溫度可以達(dá)到1200度、1400度、1600度、1700度，加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì)，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。
這款CVD系統(tǒng)是由3路供氣系統(tǒng)+TL1200-Mini管式爐+真空系統(tǒng)組成
TL1200系列管式爐
這款管式爐以瑞典康泰爾電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30 段程序控 溫系統(tǒng)，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁 多晶纖維材料，爐膛分為上下兩個(gè)半圓，需要急 速冷卻或換管子時(shí)，可以打開爐膛，雙層爐殼間 配有風(fēng)冷系統(tǒng)，能快速升降溫，該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)，是高校、科研院所、工礦 企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD 實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品。
組件配置：
一、控溫儀表：采用宇電程序控溫儀表
1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。
2、具有過溫保護(hù)、斷偶保護(hù)，過溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路會(huì)自動(dòng)切斷，（當(dāng)電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時(shí)，主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。
3、帶有485 通訊接口（選購軟件時(shí)標(biāo)配）
4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時(shí)爐溫開始升。
5、儀表具有溫度自整定的功能。
二、開蓋保護(hù)系統(tǒng)：該爐安裝有行程開關(guān)，當(dāng)爐蓋打開時(shí)會(huì)自動(dòng)切斷電源，有效地保證使用者的安全。
三、爐膛材料：采用多晶莫來纖維爐膛材料，不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡，抗熱漲冷縮能力強(qiáng)。
四、加熱元件：采用世界上加熱元件 瑞典Kanthal A1電阻絲， 溫場均衡、使用壽命長。
大部分廠家使用的首鋼生產(chǎn)的Fe-Cr-Al 有時(shí)候電阻不均衡、一部分發(fā)熱量大一部分發(fā)熱量小 此圖為首鋼生產(chǎn)的電阻絲加熱時(shí)的狀況，發(fā)熱不均勻 |
Kanthal 溫場效果好 此圖為我公司爐子配套的瑞典康奈爾的電阻絲加熱時(shí)的狀況，發(fā)熱均勻，溫場效果好 |
五、漏電保護(hù)功能： 該爐裝了漏電空氣開關(guān)，當(dāng)爐體漏電或電流超過額定電流時(shí)空開會(huì)自動(dòng)關(guān)閉以切斷電源。
六、控制系統(tǒng)：1、電器：正泰。 2、可控硅：德國西門空106/16E。 3 觸發(fā)器：移相觸發(fā)。
七、氣路系統(tǒng)： 快速拆卸連接法蘭結(jié)構(gòu)；密封法蘭采用雙環(huán)密封技術(shù)；真空度：≤2X10-2Pa（配套高真空系統(tǒng)）。在雙環(huán)O型密封圈中有一個(gè)不銹鋼O型圈進(jìn)行擠壓密封、拆卸方便、可重復(fù)拆卸，氣密性好、可保證冷態(tài)時(shí)12小時(shí)壓力表指針不偏轉(zhuǎn)。
雙環(huán)密封結(jié)構(gòu)分體結(jié)構(gòu)圖 |
快速拆卸連接法蘭結(jié)構(gòu) |
八、不銹鋼支撐架：兩端配套不銹鋼氣路支架，支撐著氣路裝置。有效消除了氣路總成自身的應(yīng)力，杜絕了因自身應(yīng)力而造成的爐管損壞。
各種規(guī)格尺寸：
型號(hào) | TL1200-I |
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功率 | 1.5 | 1.5KW |
爐管尺寸（OD）(mm) | Dia 25（OD）X600 | Dia50（OD）X600 |
外形尺寸 | 680X328X428 | 680X328X428 |
加熱元件 | 瑞典Kanthal | |
電源電壓 | 220V | |
相數(shù) | 單相 | |
控制精度 |
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觸發(fā)器 | 過零觸發(fā) | |
電器 | 浙江正泰 | |
可控硅 | 106/16E 德國西門康 | |
溫度 |
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額定溫度 |
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升溫速率 |
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推薦升溫速率 | ≤15 | |
熱電偶型號(hào) | K型 | |
加熱段長度 | 200mm | |
四周表面溫度 | ≤45℃ | |
開蓋保護(hù)系統(tǒng) | 當(dāng)爐蓋打開時(shí)繼電器會(huì)自動(dòng)切斷主電源，有效地保證使用者的安全。 | |
VS-0.1低真空系統(tǒng)
產(chǎn)品描述：
該系統(tǒng)是一款低真空機(jī)組，可以使管式爐爐管內(nèi)的真空度達(dá)到1Pa以下，該系統(tǒng)由法蘭、高真空擋板閥、電阻真空計(jì)、波紋管、支架、真空泵等組成，在法蘭出氣嘴處接有四通管，四通管分別接電阻硅，高真空擋板閥、閥門和法蘭，用Dia25的波紋把真空擋板閥和真空泵連接起來，連接口用KF25快捷卡箍。
技術(shù)參數(shù)：
1.真空泵型號(hào) ：FX-16 2.真空泵抽速：16（4）m3/h(L/s)
3.真空泵極限壓強(qiáng)（Pa)：≤4X10-2 4.高真空擋板閥：KF25
5.波紋管：KF25X1000 6.真空計(jì)VRD-I：規(guī)管型號(hào)：ZJ-53B/ZJ-54D短絲熱偶規(guī)
7.電源：220V電壓 0.8KW功率 8.真空泵的出氣口和抽氣口均為：KF25
9.擋板閥：高真空專用不銹鋼閥門 10.連接口：兩個(gè)KF25接口
系統(tǒng)】多路質(zhì)量流量計(jì)控制供氣系統(tǒng)
產(chǎn)品描述：
該系統(tǒng)是一款可以控制多種氣體按不同流量進(jìn)行混合配比的供氣系統(tǒng)，氣體從鋼瓶出來，經(jīng)過減壓閥減壓，通過管道到供氣系統(tǒng)的入口，再經(jīng)過質(zhì)量流量計(jì)控制氣體流量，然后經(jīng)過混氣罐，再進(jìn)入爐子進(jìn)氣口?；鞖夤奚辖佑袎毫Ρ恚瑝毫Ρ盹@數(shù)盤與質(zhì)量流量計(jì)顯示板安裝在同一面板上，每一條氣體管路均有一個(gè)高壓截止閥。各通道氣體流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在PLC觸摸屏上，同時(shí)可以實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。
技術(shù)參數(shù)：
氣路通道：多通道（可根據(jù)客戶需要確定） 2.氣體類型：客戶可以根據(jù)自己的要求任意選擇氣體。
3.流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM(可以任意選擇量程)
4.工作電壓：220V 50HZ 5.工作溫度：5-45℃ 6.工作壓差：0.1~0.5MPa
7.壓力：3MPa 8.準(zhǔn)確度：±1.0%F.S. 9.質(zhì)量流量計(jì)相應(yīng)時(shí)間：1S
10.測量范圍：0.1MPa-0.15MPa 11.混氣罐：304不銹鋼 12.進(jìn)出氣接口：采用Φ6不銹鋼卡套接頭
13.管道：內(nèi)部管道為6mm不銹鋼管 外部管道為6mm聚四氟管 14.尺寸：650X650X650mm
15.控制面板：每路氣路設(shè)定和查看都集中在PLC觸摸屏上可通過PLC設(shè)定每個(gè)通道的氣體流量，實(shí)時(shí)查看各通道的流量曲線和設(shè)定數(shù)據(jù)
