一、概況
羅茨真空泵具有二個(gè)三葉型轉(zhuǎn)子,通過一對同步反向旋轉(zhuǎn)高精度齒輪驅(qū)動(dòng),右圖為轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)120°,完成一次吸、排氣的過程。三葉轉(zhuǎn)子采用漸開線型線,轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)互相不接觸并保持恒定間隙??膳c多種前級(jí)泵配套,采用風(fēng)冷或水冷方式和多種密封形式,滿足不同工藝和工況要求。
比傳統(tǒng)二葉型羅茨泵在抽氣效率、允許壓差、溫升、振動(dòng)、噪聲等關(guān)鍵性能指標(biāo)上都具有明顯的技術(shù)優(yōu)勢。三葉轉(zhuǎn)子采用高精度齒輪傳動(dòng)和精密軸承支承,噪聲低、運(yùn)轉(zhuǎn)更加平穩(wěn),在低入口壓力下仍具有較大抽氣速率。
二、主要特點(diǎn)
●轉(zhuǎn)速高、容積率高、溫升低、振動(dòng)小。
●結(jié)構(gòu)簡單、可靠性好,操作、維護(hù)方便。
●轉(zhuǎn)子被鎖緊,無軸向串動(dòng)現(xiàn)象、故障率更低。
●所有平面靜密封采用O型圈密封,可以反復(fù)拆裝。
●端蓋密封可采用機(jī)械密封、骨架、活塞環(huán)和迷宮密封等多種形式。
三、應(yīng)用范圍
三葉羅茨真空泵不能單獨(dú)使用,必須與前級(jí)真空泵配套使用,配置不同類別的前級(jí)泵后,羅茨真空泵各項(xiàng)性能指標(biāo)會(huì)有所不同。羅茨真空泵主要應(yīng)用于需要大抽速和粗、中真空(103-10-2Pa)的真空系統(tǒng),例如真空鍍膜、真空焊接爐、真空熱處理爐、大型空間模擬試驗(yàn)、微電子及集成電路、燈管及燈泡制造、真空包裝、集中抽氣系統(tǒng)、各類化工處理、真空脫汽、真空脫水、真空冷凍干噪、真空蒸餾。
四、規(guī)格參數(shù)
型號(hào) | 抽氣速率(L/S) | 極限壓力(Pa) | 大允許壓差(Pa) | 配用功率(KW) | 轉(zhuǎn)速(rpm) | 進(jìn)氣口(mm) | 排氣口(mm) | 總量(kg) | 推薦前級(jí)泵 |
ZJ-70 | 70 | ≤0.05 | ≥1.2*104 | 1.5 | 2900 | 80 | 50 | 58 | 2x-15 |
ZJ-150 | 150 | ≤0.05 | ≥1.2*104 | 3 | 2900 | 100 | 80 | 136 | 2x-30 |
ZJ-300 | 300 | ≤0.05 | ≥1*104 | 4 | 2900 | 150 | 100 | 231 | 2x-70 |
ZJ-600 | 600 | ≤0.05 | ≥8*103 | 5.5(7.5) | 2900 | 200 | 150 | 485 | ZJ-150 2X-30 |
ZJ-1200 | 1200 | ≤0.05 | ≥6*103 | 11 | 2900 | 250 | 200 | 860 | ZJ-300 2X-70 |
ZJ-2500 | 2500 | ≤0.05 | ≥5*103 | 18.5 | 2900 | 350 | 250 | 1550 | ZJ-600 H-150 |
ZJ-5000 | 5000 | ≤0.05 | ≥4*103 | 37 | 1450 | 400 | 350 | 3200 | ZJ-1200 H-150 |
ZJ-10000 | 10000 | ≤0.05 | ≥3*103 | 55 | 1450 | 500 | 400 | 5800 | ZJ-1200 H-150 |
ZJ-20000 | 20000 | ≤0.05 | ≥3*103 | 110 | 1450 | 600 | 500 | 12000 | ZJ-1200 H-150 |
注:上表各性能是在配用推薦前級(jí)泵的條件下獲得,若視情況選用不同的前級(jí)泵,其主要性能指標(biāo)會(huì)有所變化。抽氣速率系指在配用前級(jí)泵的條件下羅茨真空的入口壓力在67pa~2.67pa范圍內(nèi)所測得的大抽氣速率。(見性能曲線)極限壓力系指在配用推薦前級(jí)泵的條件下,不帶任何附加容器、泵口密閉不進(jìn)氣,經(jīng)過充分抽氣后用壓縮形式真空計(jì)在泵進(jìn)口處測得的穩(wěn)定的空氣分壓力的低值。
五、性能曲線
六、外形尺寸
型號(hào) | L | L1 | L2 | L3 | H | H1 | H2 | H3 | A | A1 | A2 | D | D1 | D2 | N-M | d | d1 | d2 | n-Ф |
ZJ-70 | 729 | 190 | 100 | 151 | 230 | 212 | / | 0 | / | / | 220 | Ф80 | Ф125 | Ф145 | 8-M8 | Ф50 | Ф90 | Ф110 | 4-Ф8 |
ZJ-150 | 938 | 273 | 132 | 184 | 347 | 330 | 116.5 | 30 | 392 | 358 | 300 | Ф100 | Ф145 | Ф165 | 8-M8 | Ф80 | Ф125 | Ф145 | 8-Ф8 |
ZJ-300 | 1056 | 328 | 185 | 255 | 419 | 400 | 135 | 40 | 463 | 428 | 360 | Ф150 | Ф200 | Ф225 | 8-M10 | Ф100 | Ф145 | Ф165 | 8-Ф8 |
ZJ-600 | 1282 | 405 | 220 | 304 | 528 | 505 | 175 | 45 | 587 | 548 | 460 | Ф200 | Ф260 | Ф285 | 12-M10 | Ф150 | Ф200 | Ф225 | 8-Ф10 |
ZJ-1200 | 1573 | 473 | 300 | 392 | 649 | 625 | 218.5 | 58 | 722 | 678 | 560 | Ф250 | Ф310 | Ф335 | 12-M10 | Ф200 | Ф260 | Ф285 | 12-Ф10 |
ZJ-2500 | 1890 | 594 | 440 | 552 | 750 | 720 | 220 | 55 | 858 | 810 | 700 | Ф320 | Ф395 | Ф425 | 12-M12 | Ф250 | Ф310 | Ф335 | 12-Ф10 |
ZJ-5000 | 2630 | 865 | 820 | 960 | 950 | 925 | / | 55 | / | / | 720 | Ф400 | Ф495 | Ф540 | 16-Ф22 | Ф350 | Ф445 | Ф490 | 16-Ф22 |
ZJ-10000 | 2980 | 987 | 1070 | 1235 | 1160 | 1120 | 435 | 45 | 1416 | 1330 | 1000 | Ф500 | Ф600 | Ф645 | 20-Ф22 | Ф400 | Ф495 | Ф540 | 16-Ф22 |
ZJ-20000 | 4575 | 1915 | 1400 | 1900 | 1800 | 1600 | 550 | 100 | 2060 | 2000 | 1550 | Ф600 | Ф720 | Ф750 | 24-M28 | Ф500 | Ф600 | Ф650 | 16-Ф28 |