電容膜片真空計
Sky CDG025D, CDG025D-S 0.1 ...1000 乇/毫巴
INFICON SKY CDG025D 電容隔膜式壓力計系列高精度溫度補(bǔ)償壓力計專為在惡劣的制造工具環(huán)境中實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定性能而設(shè)計。數(shù)字電子元件提高了儀表性能，并提供易于操作的功能，例如一鍵歸零功能和設(shè)定值調(diào)整。耐腐蝕陶瓷傳感器提供出色的零點(diǎn)穩(wěn)定性，預(yù)期壽命長達(dá)數(shù)百萬次壓力循環(huán)，包括大氣爆破。du te的傳感器屏蔽可保護(hù)壓力表免受過程污染。堅固的機(jī)械設(shè)計和數(shù)字電子元件提高了EMC兼容性、長期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償。CDG025D為上電后的快速穩(wěn)定性和從大氣壓暴露中快速恢復(fù)設(shè)定了新的標(biāo)準(zhǔn)。
INFICON 的 CDG025D 是下面列出的部件號的直接直接替代產(chǎn)品，可根據(jù)要求提供許多其他插入式產(chǎn)品。
好處
與競爭產(chǎn)品*兼容
全刻度范圍從 100 毫托 ...1000 托
電源接通后快速穩(wěn)定
暴露于大氣壓后快速恢復(fù)
防腐陶瓷傳感器
zhuo yue的長期信號穩(wěn)定性
溫度補(bǔ)償
傳感器防污染保護(hù)
一鍵調(diào)零功能
電源范圍廣
典型應(yīng)用
用于刻蝕、CVD、PVD、ALD 的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備
數(shù)據(jù)存儲和顯示制造設(shè)備
工業(yè)真空設(shè)備
常規(guī)高精度壓力測量
