XAD一六測(cè)厚儀是一款上照式全元素光譜分析儀,可測(cè)量納米級(jí)厚度、微小樣品和凹槽異形件的膜厚,也可滿足微區(qū)RoHS檢測(cè)及多元素成分分析,先進(jìn)的算法及解譜技術(shù)解決了諸多業(yè)界難題。被廣泛用于各類產(chǎn)品的質(zhì)量管控、來料檢驗(yàn)和對(duì)生產(chǎn)工藝控制的測(cè)量使用。
簡(jiǎn)介:
XAD一六測(cè)厚儀是一款上照式全元素光譜分析儀,可測(cè)量納米級(jí)厚度、微小樣品和凹槽異形件的膜厚,也可滿足微區(qū)RoHS檢測(cè)及多元素成分分析,先進(jìn)的算法及解譜技術(shù)解決了諸多業(yè)界難題。被廣泛用于各類產(chǎn)品的質(zhì)量管控、來料檢驗(yàn)和對(duì)生產(chǎn)工藝控制的測(cè)量使用。
技術(shù)參數(shù):
1. 成分分析范圍:鋁(Al)- 鈾(U)
2. 成分*檢出限:1ppm
3. 涂鍍層分析范圍:鋰(Li)- 鈾(U)
4. 涂鍍層*檢出限:0.005μm
5. 最小測(cè)量直徑□0.1*0.3mm(最小測(cè)量面積0.03mm²)
標(biāo)配:最小測(cè)量直徑0.3mm(最小測(cè)量面積0.07mm²)
6. 對(duì)焦距離:0-30mm
7. 樣品腔尺寸:530mm*570mm*150mm
8. 儀器尺寸:550mm*760mm*635mm
9. 儀器重量:100KG
10. XY軸工作臺(tái)移動(dòng)范圍:100mm*150mm
11. XY軸工作臺(tái)最大承重:15KG
選擇一六測(cè)厚儀的四大理由:
1.一機(jī)多用,無損檢測(cè)(涂鍍層檢測(cè)-環(huán)保RoHS-成分分析)
2.最小測(cè)量面積0.002mm²
3.可檢測(cè)凹槽0-90mm的異形件
4.輕元素,重復(fù)鍍層,同種元素不同層亦可檢測(cè)