欧美日韩欧美,亚洲色图东京热,日韩色色图,在线观看日AV色,小穴色色离谱午夜视频,先锋影音伦理

光纖式藥液濃度計 CS-100F1

HORIBA藥液濃度計光纖式藥液濃度計 CS-100F1系列是針對在半導(dǎo)體制造中的清洗及蝕刻工藝中所使用的各種藥液進行高精度濃度監(jiān)測的設(shè)備。
 光纖式藥液濃度計 CS-100F1通過利用光纖傳播光信號，把樣品單元直接組裝到清洗裝置配管上，實現(xiàn)實時在線測量。 同時，1臺單一的濃度計zui多可以測量4種藥液或量程，在單槽/單晶圓清洗系統(tǒng)中進行單線監(jiān)測成為了可能。此外，測量單元型產(chǎn)品適用于更高精度需求應(yīng)用的濃度反饋控制。

●利用1臺濃度計zui大可以監(jiān)測4種(藥液或量程)的多樣監(jiān)測。

●實時濃度監(jiān)測。測量單元型產(chǎn)品適用于更高精度需求應(yīng)用的濃度反饋控制。

●監(jiān)測周期大約3秒，300mm工藝的濃度管理。

●通過*分離電氣部分和測量部分以提高穩(wěn)定性。

●輕便小巧的設(shè)計有利于節(jié)省清洗裝置的空間。

●通過減少清洗工藝中的批次不良以提高產(chǎn)量。

光纖式藥液濃度計 CS-100F1主要特點：

●利用1臺濃度計zui大可以監(jiān)測4種(藥液或量程)的多樣監(jiān)測。
1臺濃度計中zui多可存儲4種校正系數(shù)(藥液或量程)，可監(jiān)測單槽或單晶圓等批次清洗方式的清洗裝置1種以上藥液(或者不同的藥液配比)濃度。

●實時濃度監(jiān)測。測量單元型產(chǎn)品適用于更高精度需求應(yīng)用的濃度反饋控制。 通過使用可直接組裝在清洗裝置主配管中的在線檢測單元，實現(xiàn)了實時的濃度監(jiān)測。為了強調(diào)穩(wěn)定性，也可使用檢測單元裝置型的濃度計，以進行反饋控制。可以保持在藥液濃度值的允許范圍內(nèi)，同時也可以避免不必要的藥液更換工作。